(4分)LIGA技术中不包括的工艺过程为（ ）* A. 涂胶* B. 同步辐射X射线深层光刻* C. 电铸成形* D. 注塑得分： 0

LIGA技术是微细加工领域的重要技术，其名称取自德文Lithographie（光刻）、Galvanik（电铸）、Abformtechnik（模塑）的缩写。本题要求识别不属于该技术核心工艺的选项。解题关键在于明确LIGA的三大核心步骤，并排除与之无关的工艺。

选项分析

A. 涂胶

涂胶是传统光刻工艺中为基底涂布光刻胶的步骤，但LIGA技术采用同步辐射X射线光刻，直接在无胶基底上形成微结构，因此涂胶并非LIGA的必要步骤。

B. 同步辐射X射线深层光刻

对应LIGA中的光刻（Lithographie），利用高精度X射线实现微米级图形转移，是核心工艺之一。

C. 电铸成形

对应电铸（Galvanik），通过电化学沉积形成金属微结构，是LIGA的关键成形步骤。

D. 注塑

对应模塑（Abformtechnik），将金属模具用于批量生产微结构件，属于LIGA的衍生工艺。