题目
请选择晶圆在测试过程中所采用的设备()。A. 分选机B. 测试机C. 探针台D. 探针卡
请选择晶圆在测试过程中所采用的设备()。
A. 分选机
B. 测试机
C. 探针台
D. 探针卡
题目解答
答案
BCD
B. 测试机
C. 探针台
D. 探针卡
B. 测试机
C. 探针台
D. 探针卡
解析
晶圆测试是半导体制造中的关键环节,主要目的是检测芯片的功能和性能。本题考查对晶圆测试过程中所用设备的识别能力。核心思路是明确各设备在测试流程中的具体作用:
- 测试机(Test System):生成测试信号并分析结果。
- 探针台(Probe Handler):固定晶圆并精确定位,确保探针与芯片接触。
- 探针卡(Probe Card):通过微小探针将测试信号传递到芯片。
分选机(Sorting Machine)主要用于封装后的好坏芯片分选,不属于测试设备本身,因此排除。
选项分析
A. 分选机
分选机用于封装后芯片的分类,而非测试过程中的信号检测,故不属于测试设备。
B. 测试机
测试机是测试系统的核心,负责生成测试指令、接收测试数据并分析结果,必须参与测试。
C. 探针台
探针台通过机械臂固定晶圆并精确定位,确保探针与芯片测试点对齐,是物理接触的基础设备。
D. 探针卡
探针卡安装在探针台上,通过细小探针将测试信号传递到芯片,直接参与信号传输。