外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长 薄膜。?

本题主要考察外延工艺的基本概念。外延工艺的核心是在在晶体衬底上生长薄膜，关键在于明确生长的薄膜类型。根据半导体器件制造中，为了保证薄膜与衬底的晶格匹配和性能一致性，通常需要生长单晶薄膜，因为单晶结构的原子排列高度有序，能有效减少缺陷，提升器件性能。题目中“外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长薄膜”，结合外延工艺的定义，缺失的关键信息是“单晶”。