【多选题】影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度 B. 浓度梯度 C. 扩散的杂质 D. 衬底的材料

步骤 1：理解杂质扩散系数D的定义
杂质扩散系数D是描述杂质在材料中扩散速率的物理量，它与温度、浓度梯度、扩散的杂质种类以及衬底材料的性质有关。
步骤 2：分析温度对杂质扩散系数D的影响
温度升高，原子的热运动加剧，杂质扩散速率加快，因此杂质扩散系数D随温度升高而增大。
步骤 3：分析浓度梯度对杂质扩散系数D的影响
浓度梯度越大，杂质扩散的驱动力越大，杂质扩散速率加快，因此杂质扩散系数D随浓度梯度增大而增大。
步骤 4：分析扩散的杂质对杂质扩散系数D的影响
不同种类的杂质在材料中的扩散速率不同，因此杂质扩散系数D与扩散的杂质种类有关。
步骤 5：分析衬底材料对杂质扩散系数D的影响
不同材料的晶格结构和化学性质不同，对杂质的扩散速率有影响，因此杂质扩散系数D与衬底材料的性质有关。