不管是软烘还是坚膜,最重要的工艺参数为A. 温度B. 时间C. 压力D. 晶向

不管是软烘还是坚膜，最重要的工艺参数是温度和时间。温度决定了材料的热处理效果，而时间则决定了热处理的充分程度。压力和晶向在这些工艺中不是主要的控制参数。