题目
1晶圆检测工艺流程中,使用全自动探针台对晶圆测试时,探针台的常规参数设置不包括()A. 步进范围B. 批次信息C. 晶圆尺寸D. 目镜倍数
1晶圆检测工艺流程中,使用全自动探针台对晶圆测试时,探针台的常规参数设置不包括()
A. 步进范围
B. 批次信息
C. 晶圆尺寸
D. 目镜倍数
题目解答
答案
D. 目镜倍数
解析
在晶圆检测工艺流程中,使用全自动探针台对晶圆进行测试时,需要设置一些常规参数以确保测试的准确性和效率。这些参数包括步进范围、批次信息和晶圆尺寸等。步进范围是指探针台在晶圆上移动的步长,批次信息用于记录测试批次的详细信息,晶圆尺寸则指晶圆的实际尺寸。而目镜倍数通常与显微镜相关,用于调整观察的放大倍数,不是探针台的常规参数设置。