旋转涂胶时,高速转动的结果是可以使光刻胶在晶圆表面堆积(边缘珠子),可以直接用溶剂喷洒到晶圆正面和背面边缘附近即可。A. 正确B. 错误

考查要点：本题主要考查对旋转涂胶工艺中光刻胶堆积处理方法的理解，重点在于判断溶剂喷洒的正确部位。

解题核心思路：
旋转涂胶时，高速转动会导致光刻胶在晶圆正面边缘堆积形成“边缘珠子”。此时需用溶剂清理这些堆积物。关键在于明确溶剂喷洒的部位是否合理。

破题关键点：

1. 光刻胶堆积的位置：主要发生在晶圆的正面边缘，背面一般不会有光刻胶堆积。
2. 溶剂喷洒的必要性：虽然背面可能无光刻胶堆积，但喷洒溶剂可清除可能飞溅的残留物或保持整体清洁，符合实际工艺要求。

旋转涂胶过程中，晶圆高速旋转时，光刻胶受离心力作用向边缘移动，导致正面边缘形成堆积（即“边缘珠子”）。此时需用溶剂清理这些堆积物以保证涂布质量。题目中提到“直接用溶剂喷洒到晶圆正面和背面边缘附近”，虽然正面是主要处理部位，但背面喷洒溶剂可防止飞溅残留或污染，因此操作是正确的。