题目
晶圆主要分为无图案晶圆,该两种晶圆的性质不同,其实际的缺陷也存在着明显的不同。造成晶圆表面出现缺陷的原因有多种,一方面来自于晶圆本身材质的问题,另一方面来自于晶圆在实际生产中所造成的缺陷。请选择出下列常见的晶圆表面缺陷有哪些:()。 A. 表面冗余物B. 晶体缺陷C. 划痕D. 图案缺陷
晶圆主要分为无图案晶圆,该两种晶圆的性质不同,其实际的缺陷也存在着明显的不同。造成晶圆表面出现缺陷的原因有多种,一方面来自于晶圆本身材质的问题,另一方面来自于晶圆在实际生产中所造成的缺陷。请选择出下列常见的晶圆表面缺陷有哪些:()。
- A. 表面冗余物
- B. 晶体缺陷
- C. 划痕
- D. 图案缺陷
题目解答
答案
ABCD
解析
晶圆表面缺陷主要分为两类：一类是由于晶圆本身材质问题引起的，另一类是由于生产过程中造成的。常见的晶圆表面缺陷包括表面冗余物、晶体缺陷、划痕和图案缺陷。这些缺陷可能影响晶圆的性能和后续的加工过程。