扩散系数在何时不可以看成是常数:A. 在中等浓度 p 型硅上扩散掺入 n 型杂质；B. 在重掺杂 p 型硅上扩散掺入 n 型杂质；C. 在本征硅上扩散掺入高浓度的杂质硼，同时进行氧化。D. 在本征硅上扩散掺入中等浓度的杂质硼。

扩散系数是否为常数取决于扩散过程中的浓度和工艺条件。

• 关键点1：在高浓度掺杂或重掺杂情况下，杂质浓度可能导致点缺陷钉扎，扩散系数随浓度变化，无法视为常数。
• 关键点2：同时进行氧化会改变表面浓度分布，影响扩散路径，导致扩散系数非恒定。
• 关键点3：中等浓度掺杂或本征硅中等浓度扩散时，浓度梯度较小，扩散系数可近似为常数。

选项分析

选项B：重掺杂 p 型硅扩散 n 型杂质

• 重掺杂导致晶格畸变，点缺陷被钉扎，扩散系数显著降低且随时间变化。
• 高浓度杂质使扩散过程偏离理想情况，扩散系数不再是常数。

选项C：本征硅扩散高浓度硼并氧化

• 高浓度硼在本征硅中形成陡峭浓度梯度，扩散系数随浓度变化。
• 同时氧化使氧化层生长改变表面条件，进一步破坏扩散系数的恒定性。

选项A：中等浓度 p 型硅扩散 n 型杂质

• 中等浓度下浓度梯度较小，点缺陷迁移正常，扩散系数可视为常数。

选项D：本征硅扩散中等浓度硼

• 中等浓度扩散时，浓度梯度平缓，扩散系数保持恒定。