【多选题】铝进行干法刻蚀时，常常采用哪种物质A. HFB. HClC. Cl2D. BClx

本题考查铝的干法刻蚀相关知识。干法刻蚀是相对于湿法刻蚀的一种刻蚀技术，通常在气态环境下进行，利用等离子体或化学反应实现材料的选择性去除。铝的干法刻蚀中，关键是选择能与铝发生有效化学反应、生成易挥发产物的刻蚀气体。

选项分析：

• A. HF：氟化氢（HF）是湿法刻蚀中常用的铝刻蚀剂（如HF与硝酸、醋酸的混合液），但干法刻蚀中HF的挥发性和反应特性并不适合，且HF腐蚀性极强，干法环境下易导致设备损伤，故不选。
• B. HCl：氯化氢（HCl）在高温下可与铝反应生成AlCl₃，但AlCl₃的熔点（190℃）和沸点（180℃，升华）虽适中，但其在干法刻蚀中的反应活性和选择性不如氯气或氯硼化合物，并非铝干法刻蚀的常用物质，故不选。
• C. Cl₂：氯气（Cl₂）是铝干法刻蚀的常用气体。Cl₂在等离子体中易离解为高活性氯自由基（Cl·），与铝反应生成挥发性的AlCl₃（三氯化铝），反应式为：$2Al + 3Cl_2 \rightarrow 2AlCl_3$。AlCl₃易挥发，可通过排气系统移除，实现铝的刻蚀，故选。
• D. BClₓ：氯硼化合物（如BCl₃）是铝干法刻蚀中常用的添加剂或主气体。BCl₃与铝反应生成AlCl₃和B₂O₃（三氧化二硼），其中B₂O₃可与Al₂O₃（铝表面的氧化层）反应生成挥发性的硼铝氧化物，有效去除铝表面的钝化层，增强刻蚀速率和均匀性，故选。