题目
一扩散,采取两歩工艺:预淀积温度高(1200℃)时间长(50min),再分布温度低(970℃)时间短(30min),杂质近似为服从高斯分布。A. 正确B. 错误
一扩散,采取两歩工艺:预淀积温度高(1200℃)时间长(50min),再分布温度低(970℃)时间短(30min),杂质近似为服从高斯分布。
A. 正确
B. 错误
题目解答
答案
B. 错误
解析
在半导体工艺中,扩散过程通常分为两个步骤:预淀积和再分布。预淀积阶段,温度较高且时间较长,目的是使杂质充分进入硅片中。再分布阶段,温度较低且时间较短,目的是使杂质分布更加均匀。如果杂质分布近似服从高斯分布,说明杂质在硅片中的分布是均匀的,符合再分布阶段的预期。然而,题目中提到的再分布温度和时间并不符合常规的再分布工艺,因此,题目中的描述是错误的。