题目
关于湿法刻蚀描述正确的是:()□A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、漂洗、干燥.D. 湿法列蚀的缺点是:各向异性差(钻烛严重),难于获得精细图形
关于湿法刻蚀描述正确的是:()□
A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面
B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料
C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、漂洗、干燥.
D. 湿法列蚀的缺点是:各向异性差(钻烛严重),难于获得精细图形
题目解答
答案
ABCD
A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面
B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料
C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、漂洗、干燥.
D. 湿法列蚀的缺点是:各向异性差(钻烛严重),难于获得精细图形
A. 湿法刻蚀的优点是:工艺简单、腐蚀选择性好;各向同性剖面
B. 利用化学溶液溶解硅表面的材料
C. 湿法刻蚀的基本过程是:刻蚀、漂洗、干燥.
D. 湿法列蚀的缺点是:各向异性差(钻烛严重),难于获得精细图形
解析
湿法刻蚀是一种利用化学溶液来去除或溶解硅表面材料的工艺。它具有工艺简单、腐蚀选择性好、各向同性剖面等优点，但也有各向异性差、难以获得精细图形等缺点。湿法刻蚀的基本过程包括刻蚀、漂洗和干燥三个步骤。