4,二氧化硅薄膜中参入了磷元素就形成了磷硅玻璃。A. 正确B. 错误

磷硅玻璃（Phosphosilicate Glass, PSG）是一种在半导体制造过程中常用的材料，它是由二氧化硅（SiO₂）和磷（P）组成的玻璃状物质。磷元素的掺入改变了二氧化硅的性质，使其具有不同的电学和光学特性，常用于半导体器件的制造中，如作为隔离层或电介质层。因此，当二氧化硅薄膜中掺入磷元素时，确实形成了磷硅玻璃。