题目
直拉法制备单晶硅的过程是：清洁处理——装炉——加热融化——拉晶，其中拉晶是最主要的工序，拉晶包括（）、（）、放肩、（）和收尾拉光等过程。
直拉法制备单晶硅的过程是：清洁处理——装炉——加热融化——拉晶，其中拉晶是最主要的工序，拉晶包括（）、（）、放肩、（）和收尾拉光等过程。
题目解答
答案
参考答案：
下种；缩颈；等径生长
解析
直拉法制备单晶硅的过程包括多个步骤，其中拉晶是最关键的工序。拉晶过程包括下种、缩颈、放肩、等径生长和收尾拉光等步骤。这些步骤确保了单晶硅的高质量和高纯度。