集成压力传感器[1]是利用（）材料的压阻效应和集成电路制成的传感器。

集成压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料具有良好的压阻效应，即在受到压力作用时，其电阻值会发生变化，这种变化可以被用来测量压力。通过将单晶硅材料与集成电路技术结合，可以制造出高精度、高稳定性的压力传感器。