制备完整单晶薄膜的沉积条件是______和______，其生长模式为______。外延生长（在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜）条件：______和______。

步骤 1：理解沉积条件
在制备完整单晶薄膜时，需要控制沉积条件以确保薄膜的完整性和单晶性质。较高的沉积温度有助于原子的扩散和排列，而较低的气相过饱和度则有助于避免形成多晶或非晶结构。

步骤 2：确定生长模式
在适当的沉积条件下，单晶薄膜的生长模式通常为层状生长模式。在这种模式下，原子逐层沉积，形成有序的晶体结构。

步骤 3：外延生长条件
外延生长是指在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜。为了实现外延生长，需要较高的衬底温度以促进原子的扩散和排列，同时需要较低的沉积速率以确保原子有足够的时间进行有序排列。