题目

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是（）：A. 电子束光刻B. 紫外光刻C. 以上都有应用D. 极紫外光刻

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是（）：

A. 电子束光刻

B. 紫外光刻

C. 以上都有应用

D. 极紫外光刻

题目解答

答案

C. 以上都有应用