真空系统极限真空度的影响因素A. 真空泵回流B. 气体泄漏程度C. 系统容积D. 管路流导

极限真空度是指真空系统能够达到的最低压力值，其大小受系统中残留气体分子数量的影响。本题需判断哪些因素会影响极限真空度。关键在于理解真空泵性能、系统密封性、几何结构对残余气体量的控制作用。

核心思路：

1. 真空泵回流（A）会增加系统内气体量；
2. 气体泄漏（B）引入外部气体，直接提升压力；
3. 系统容积（C）大时，相同抽气速率下残余气体更多；
4. 管路流导（D）低会阻碍气体排出，导致积聚。
   所有选项均通过不同途径影响残余气体量，因此均为关键因素。

选项分析

A. 真空泵回流

真空泵若存在回流，部分抽出气体重新进入系统，导致残余气体量增加，极限真空度无法降低。

B. 气体泄漏程度

泄漏使外部气体渗入系统，直接提升系统压力，限制真空度下限。

C. 系统容积

系统容积越大，相同抽气速率下达到平衡时的残余气体分子数越多，极限真空度越高（压力越低）所需容积越小。

D. 管路流导

管路流导低时，气体传输效率差，残余气体在管路中积聚，影响整体抽气效果。

结论：所有选项均通过不同机制影响极限真空度，故答案为ABCD。