5判断电子束加工是通过热效应进行加工的。A. √B. ×

电子束加工是利用高速电子束轰击材料表面，通过电子束与材料的相互作用，使材料表面温度急剧升高，从而实现材料的熔化、蒸发或改性。因此，电子束加工确实主要是通过热效应进行加工的。