题目

以下是物理气相沉积工艺的是()。A. LPCVDB. MOCvdC. 真空蒸发D. PECVD

以下是物理气相沉积工艺的是()。

A. LPCVD

B. MOCvd

C. 真空蒸发

D. PECVD

题目解答

答案

C. 真空蒸发