电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应，是一种化学加工。 ( )

本题考查电子束光刻的基本原理相关知识。解题思路是明确电子束光刻的定义和工作方式，判断其是否属于化学加工。
电子束光刻是一种先进的微细加工技术。在电子束光刻过程中，电子束照射到光致抗蚀剂上，电子束中的高能电子会与光致抗蚀剂发生相互作用，引发光致抗蚀剂内部的化学反应。这种化学反应会改变光致抗蚀剂的物理和化学性质，例如使其溶解性发生变化。之后通过显影等后续工艺，就可以将曝光区域的光致抗蚀剂去除或保留，从而在材料表面形成所需的图案。所以电子束光刻是利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应来实现加工的，属于化学加工。