()是四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法都要经历的步骤,且反应原理一致。A. 加碳还原成粗硅B. 粗硅研磨成硅粉C. 热分解生成多晶硅D. 氢气还原

步骤 1：理解四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法的反应原理
四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法都是用于制备高纯度硅的方法。这些方法中，氢气还原是关键步骤，通过氢气与硅化合物反应，生成高纯度的硅。

步骤 2：分析选项
A. 加碳还原成粗硅：这是制备粗硅的方法，不是高纯度硅的制备方法。
B. 粗硅研磨成硅粉：这是对粗硅进行处理的步骤，不是高纯度硅的制备方法。
C. 热分解生成多晶硅：这是硅烷热分解法的步骤，但不是所有方法都经历的步骤。
D. 氢气还原：这是所有方法中都经历的步骤，通过氢气与硅化合物反应，生成高纯度的硅。

步骤 3：确定正确答案
根据以上分析，氢气还原是四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法都要经历的步骤，且反应原理一致。