真空蒸发镀膜设备包括哪三个过程?

答:a加热蒸发过程。包括由凝聚相转变为气相的相变过程。B气化原子或分子在蒸发源与基片之间的输运,即这些粒子在环境气氛中的飞行过程。C蒸发原子或分子在基片表面上的沉淀过程,即是蒸气凝聚、成核、核生长、形成连续薄膜。