真空蒸发镀膜设备包括哪三个过程?

本题考查真空蒸发镀膜设备的工作过程相关知识。解题思路是根据真空蒸发镀膜设备的基本原理和工作流程，明确其包含的三个主要过程。

• 首先，要实现镀膜，需要将镀膜材料从凝聚相转变为气相，这就涉及到加热蒸发过程。在这个过程中，材料吸收能量，发生相变，从固态或液态转变为气态，其本质是凝聚相转变为气相的相变过程。
• 其次，气化后的原子或分子需要从蒸发源到达基片，这就有了气化原子或分子在蒸发源与基片之间的输运过程。这些粒子在设备的环境气氛中飞行，其飞行状态和路径会受到环境因素的影响。
• 最后，到达基片表面的蒸发原子或分子要沉淀下来形成薄膜，这就是蒸发原子或分子在基片表面上的沉淀过程。这个过程包含了蒸气凝聚、成核、核生长以及最终形成连续薄膜等一系列步骤。