离子注入深度通过控制离子束____来控制,而掺杂浓度的控制可通过控制注入离子________来实现，是两个独立控制过程。

本题考查离子注入技术中两个关键参数的控制因素。需要明确：

1. 离子注入深度由离子束的能量决定，能量越高，离子穿透材料越深；
2. 掺杂浓度由注入离子的剂量决定，剂量越大，单位面积内掺杂的离子越多，浓度越高。

离子注入深度的控制

离子束的能量决定了离子撞击材料表面时的初始动能。能量越高，离子在材料中的散射和停止过程需要更长的距离，因此注入深度更大。例如，高能离子束（如兆电子伏特量级）可用于深层掺杂，而低能离子束（如千电子伏特量级）适用于浅层掺杂。

掺杂浓度的控制

注入剂量表示单位面积内注入的离子总数（单位：离子/平方厘米）。剂量越大，单位面积内掺入的杂质原子越多，最终形成的掺杂浓度越高。通过调整离子束的电流强度和注入时间，可以精确控制剂量。