化学气相沉积是利用气态物质在一定温度下于固体表面上进行化学反应，生成固态沉积膜的过程。(）A. 正确B. 错误

化学气相沉积（CVD）是一种在气态物质与固体表面之间进行化学反应，从而在固体表面生成固态沉积膜的过程。该过程通常在高温下进行，气态物质在固体表面发生化学反应，生成固态沉积物，沉积物逐渐形成薄膜。这种技术广泛应用于半导体制造、涂层和材料科学等领域。