下列过程对应的离子方程式正确的是（ ）A. 用氢氟酸刻蚀玻璃：(SiO)_(3)^2-+4F-+6H+═SiF4↑+3H2OB. 用三氯化铁溶液刻制覆铜电路板：2Fe3++3Cu═3Cu2++2FeC. 用硫代硫酸钠溶液脱氯：S2(O)_(3)^2-+2Cl2+3H2O═2(SO)_(3)^2-+4Cl-+6H+D. 用碳酸钠溶液浸泡锅炉水垢中的硫酸钙：CaSO4+(CO)_(3)^2-═CaCO3+(SO)_(4)^2-

本题考查离子方程式的书写是否正确，需结合物质的性质、反应条件及离子方程式的书写规则进行判断。关键点在于：

1. 反应物的正确形式：如玻璃中的SiO₂应以固体形式参与反应，而非SiO₃²⁻；
2. 氧化还原反应的产物判断：如Fe³⁺与Cu反应时，Fe³⁺被还原为Fe²⁺；
3. 氧化剂的强弱对产物的影响：如Cl₂作为强氧化剂，会将S₂O₃²⁻氧化为SO₄²⁻；
4. 沉淀转化原理：利用溶度积差异，通过加入可溶性盐实现沉淀的转化。

选项A

错误原因：玻璃中的SiO₂以固体形式存在，与HF反应的正确方程式为：
$\text{SiO}_2 + 4\text{F}^- + 2\text{H}^+ \rightarrow \text{SiF}_4 \uparrow + \text{H}_2\text{O}$
选项中错误地使用了SiO₃²⁻，与实际反应不符。

选项B

错误原因：Fe³⁺与Cu反应时，Fe³⁺被还原为Fe²⁺，而非单质Fe。正确方程式为：
$2\text{Fe}^{3+} + \text{Cu} \rightarrow 2\text{Fe}^{2+} + \text{Cu}^{2+}$
选项中Fe的产物形式错误。

选项C

错误原因：Cl₂作为强氧化剂，将S₂O₃²⁻氧化为SO₄²⁻，而非SO₃²⁻。正确方程式为：
$\text{S}_2\text{O}_3^{2-} + 4\text{Cl}_2 + 5\text{H}_2\text{O} \rightarrow 2\text{SO}_4^{2-} + 8\text{Cl}^- + 10\text{H}^+$
选项中SO₃²⁻的生成不符合氧化还原规律。

选项D

正确性分析：CaSO₄与CO₃²⁻反应生成溶解度更小的CaCO₃，符合沉淀转化原理：
$\text{CaSO}_4(s) + \text{CO}_3^{2-} \rightarrow \text{CaCO}_3(s) + \text{SO}_4^{2-}$
方程式书写正确。