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离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有A. 离子注入B. 离子刻蚀C. 离子溅射沉积D. 离子镀

离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有

A. 离子注入

B. 离子刻蚀

C. 离子溅射沉积

D. 离子镀

题目解答

答案

BCD
B. 离子刻蚀
C. 离子溅射沉积
D. 离子镀

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