3【判断题】电子气体主要应用于集成电路制造的高纯、超高纯特种气体，一般具有高毒性。()A 对B 错

电子气体是集成电路制造中不可或缺的高纯度特种气体，主要用于掺杂、蚀刻等工艺。这类气体通常含有高活性化学成分，大部分具有毒性，尤其是砷化氢、磷化氢等常用气体。题目中的“一般具有高毒性”符合行业实际，因此判断为正确。

1. 应用领域：电子气体作为高纯/超高纯特种气体，是半导体制造的关键材料，需极高的纯度以避免杂质影响芯片性能。
2. 毒性特征：常用电子气体如砷化氢（剧毒）、磷化氢（有毒）等，因化学性质活泼，普遍具有毒性。题目中“一般”表述符合实际情况。