在进行具体设计预算编制时，应按照建筑安装工程量预算表（表三）甲、______、______、______、______的顺序进行。

在进行具体设计预算编制时，需依据建筑安装工程量预算表（表三）的结构和编制逻辑，按以下顺序依次完成各子表的编制：

1. 表三甲：建筑安装工程量预算表（甲）——用于列示主要工程项目的工程量及单价，是预算编制的基础。

2. 表三乙：建筑安装工程机械使用费——根据表三甲的工程量，计算所需机械台班及费用。

3. 表三丙：建筑安装工程仪表使用费——针对需要使用仪表的工程项目，按工程量计算仪表使用费用。

4. 表四：器材概（预）算表——包括主要材料费和需要安装设备费，根据工程量和市场价格编制。

5. 表二：建筑安装工程费用^[1]概（预）算表——汇总上述各项费用，计算直接费、间接费、利润和税金，得出建筑安装工程总费用。

因此，编制顺序为：表三甲 → 表三乙 → 表三丙 → 表四 → 表二。

答案：

表三乙、表三丙、表四、表二