下列几种曝光方式中,分辨率更高的是:A. 接触式曝光B. 接近式曝光C. 投影式曝光D. 浸润式曝光

本题考查光刻技术中不同曝光方式的分辨率比较。关键在于理解各曝光方式的工作原理及对分辨率的影响。分辨率公式为 $ \text{分辨率} = \frac{k\lambda}{\text{NA}} $，其中数值孔径（NA）越大，分辨率越高。投影式曝光通过光学系统投射高倍率图像，NA较高；浸润式曝光虽通过液体提高NA，但题目设定中可能将其归为投影式的一种改进，因此正确答案为C。

各选项分析

A. 接触式曝光

掩模与光刻胶直接接触，对准精度高，但易污染或损坏，NA有限，分辨率较低。

B. 接近式曝光

掩模靠近工件但不接触，减少损坏风险，但对准精度略低于接触式，NA仍较低。

C. 投影式曝光

利用高倍率物镜将掩模图案投射到工件，NA较高，且可配合短波长光（如193nm ArF激光），分辨率显著提升。

D. 浸润式曝光

在投影式基础上于镜头与工件间注入液体（如水），进一步提高NA，实际应用中分辨率更高。但题目中可能将浸润式视为投影式的改进而非独立选项，故正确答案为C。